新闻资讯
LED知识

LED光阻剂之正向光阻和负向光阻

时间:2014-08-11 来源:http://www.kacled.com/ 点击数:

光阻有两种,正向光阻(positive photoresist)和负向光阻(negative photoresist)

正向光阻是光阻的一种,其照到光的部分会溶于光阻显影液,而没有照到光的部份不会溶于光阻显影液。

负向光阻是光阻的一种,其照到光的部分不会溶于光阻显影液,而没有照到光的部份会溶于光阻显影液。

正型光阻剂及负型光阻剂主要是应用在LED芯片制造的金属电极蒸镀Lift-off制程中,由于LED电极所使用的金属材料不易经由蚀刻的方式制作电路图形,所以利用拔起(Lift-off)微影制程,得到突起的(Overhang)光阻图形,使金属在蒸镀过程中不会连续性满布在光阻剂上,再用去光阻剂的方式将未遭金属布盖的光阻部份拔起,完成金属电极的图案。

负型光阻剂是lift-off制程的最佳选择
1960年代末期,lift-off制程已被应用于金属化(metalization)制程上,刚开始是因为电子束(Electron-beam)微影技术的开发,发现电子在光阻剂中会散射造成类似梨子形状的能量吸收,导致成像后光阻图型成为上宽下窄之Overhang图案,故其金属化可用lift-off方式完成。半导体制程常用的正型光阻剂,在光学曝光方式下,光阻剂上层接受能量较下层光阻高,使得正型光阻剂成像大部份图形为上窄下宽,无法经一次曝光方式即得到Overhang的图形,而负型光阻剂的成像恰好与正型光阻剂图像相反。

LED光阻剂不同暴露途径之急救方法
吸入:立刻将人员移至通风处,必要时送医检查及治疗
皮肤接触:用肥皂和清水洗净,如有刺痛感產生时,立刻送医检查及治疗
眼睛接触:立刻用大量清水冲洗,必要时送医检查及治疗
食入:立刻用清水漱口,必要时送医检查及治疗